清洗過程中，真空泵控制真空室時(shí)，氣體流量決定真空室的發(fā)光顏色：顏色淺，真空度高，氣體流量過小；顏色重，真空度低，氣體流量大。真空泵的真空度是要根據(jù)材料的處理效果來確定的。